Les interactions ions énergétiques-solides
applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces
Paru le
10/11/1997 |
Relié 383 pages
Professionnels
89.85 €
Indisponible
Quatrième de
couverture
A. Richardt et A.-M. Durand présentent le procédé de pulvérisation cathodique et en décrivent l'application aux dépôts de films à partir de cibles simples comme les matériaux purs, jusqu'aux cibles complexes comme les pérovskites.
